酸素フッ素酸 CAS:82419-35-0

酸素フッ素酸は、主にフッ化物、オキシフッ素化合物、その他の有機フッ素化合物の製造に用いられます。強力な酸化剤として、有機合成におけるフッ素化剤として、有機分子へのフッ素原子導入に利用できます。また、シリコンウェハーの洗浄やエッチングにおける腐食剤としても用いられ、半導体産業において重要な用途があります。実験室では、ガラス器具の洗浄や表面酸化物の除去にも使用できます。しかし、腐食性および毒性が高いため、使用時には安全操作手順を厳守し、作業員の安全を確保するために必要な保護措置を講じる必要があります。